在精密零件加工的过程中，为了提高气浮导轨的运动性能，可以采用以下三种方法。首先提高了导轨在承载方向的刚度，导轨的结构设计采用了封闭式导轨，相比单边可以提高2倍的刚度。减小气浮间隙；并加大密封力度，气源需要恒压供气和清洁，以减少可能的振荡因素。

在供气回路中，应设计负载补偿机构和自动调压装置，使气浮间隙变化很小，由压簧和滚轮控制气浮间隙。或者合理布置气垫，使其自动平衡调节。对于高精度测量机，气浮精度应在0.001-0.002毫米之间。

其次，在精密零件加工中，可以提高导轨运动时的阻力。气垫上的孔越多，阻尼力越大，刚性越大。如果用粉末冶金的多孔材料做气垫，用大面积微孔代替小孔节流气垫，阻尼力会更大。在精密机械零件加工允许的情况下，可以采用气液两相润滑，由于导轨接触面存在油膜，增加了阻尼力。

也可以采用半气浮导轨的结构形式。坐标机是气浮导轨和机械导轨的组合。利用两种导轨的运动特性，既提高了抵抗端部运动的能力，又保持了气浮导轨的间隙不变，增加了导轨运动的阻尼力，从而提高了导轨的运动性能。

通常精密零件加工时，机床不适合在肮脏、高温、潮湿的环境下工作，对电网的供电环境也有较高的要求。机床的电源电压不应低于10%，三相应平衡稳定。糟糕的是，电网必须配备稳压电源。除了保持机器的清洁和正常润滑外，机床的所有部件都必须仔细保养。